Ljósvökvakeramikstútar eru nákvæmir keramikhlutar fyrir gasdreifingu og efnaúða í ljósvakaframleiðslu. Þau eru notuð í CVD og PECVD búnað, blaut-ætingarkerfi og tengdar sendingarsamstæður þar sem stúturinn er hluti af ferli-vökvaleiðinni.

Kjarna kostir

±0,01 mm borunarnákvæmni

Nákvæmni borþvermáls er ±0,01 mm. Í gas- eða vökvadreifingarsamstæðu með mörgum-stútum, dregur það úr breytileika milli stúta að stjórna hverri leið í þetta svið og styður stöðugra flæði yfir fylkið.

Ra Minna en eða jafnt og 0,2 μm Innra yfirborð

Innra yfirborðsgrófleiki er Ra Minna en eða jafnt og 0,2 μm. Sléttari veggur skilur eftir sig færri punkta fyrir agnir eða efnaleifar að safnast saman í þröngum göngum, sem hjálpar til við að hægja á hægfara takmörkun flæðisleiðarinnar.

Heitt og ætandi ferli umslag

Hámarks vinnuhiti er 1200 gráður eða 1500 gráður eftir því hvaða keramik er valið og stútarnir eru tilgreindir til að standast flestar súr og basískar lofttegundir. Efnisval getur því byggst bæði á vinnsluhitastigi og vinnslumiðli.

Sérsniðin

Efni

Efnisval er 99% súrál og kísilkarbíð.

Lengd og festingarviðmót

Heildarlengd er gerð að teikningu viðskiptavinarins. Hægt er að bæta við öxlum, flansum, uppsetningarholum og öðrum staðsetningarupplýsingum til að passa við viðmót búnaðarins.

Úttak og flæði rúmfræði

Samþykkta teikningin eða frumgerðin getur skilgreint borunarútlit, úttaksstefnu, rúmfræði úða og margar-holastillingar.

Tæknilýsing

Parameter	Forskrift
Efnistegundir	99% súrál, kísilkarbíð
Nákvæmni borþvermáls	±0,01 mm
Grófleiki innra yfirborðs (Ra)	Minna en eða jafnt og 0,2μm
Lengd stúts	Á hverja teikningu viðskiptavina
Hámark Vinnuhitastig	1200 gráður (súrál) / 1500 gráður (kísilkarbíð)
Tæringarþol	Þolir flestar súrar og basískar lofttegundir

Gæðaeftirlit

Borastærð er skoðuð eftir vinnslu. Innri gangurinn er einnig skoðaður með tilliti til stíflu, brúnskemmda og yfirborðsaðstæðna áður en stúturinn færist í virknisannprófun.

Flæðisprófun staðfestir að fullunnin leið er opin og skilar stöðugri rás. Ytri mál, uppsetningarupplýsingar og þéttingar- eða staðsetningarhliðar eru athugaðar sérstaklega á móti teikningunni.

Fyrir pökkun eru stútarnir athugaðir með tilliti til útlits, samþykkts magns og hreinleika. Skoðunarskrár haldast með lotunni, hægt er að skipuleggja skoðun þriðju-aðila og stútaoddar og nákvæmnisflatar eru aðskildar í pakkanum.