Hálfleiðaraiðnaðurinn krefst afar mikils hreinleika, tæringarþols og stöðugleika frá íhlutum, og burðarhlutir úr keramik uppfylla fullkomlega þessar kröfur, sem gerir þá að lykilþáttum í hálfleiðarabúnaði.
Við framleiðslu á flísum er innra umhverfi búnaðar oft fyrir háum hita, miklu lofttæmi og mikilli tæringu. Hefðbundin málmefni tærast auðveldlega eða losa um óhreinindi, en byggingarhlutar úr keramik hafa framúrskarandi efnafræðilegan stöðugleika og litla eiginleika til að losa agna, sem tryggir í raun hreint framleiðsluumhverfi.
Algengar hálfleiðara keramikhlutar eru meðal annars keramik chucks, keramik hitari, einangrunarhringir, stútar og leiðaríhlutir. Meðal þessara nota rafstöðueiginleikar framúrskarandi einangrunareiginleika keramikefna til að festa oblátur og eru einn af kjarnaþáttum hálfleiðarabúnaðar.
Eftir því sem flísaframleiðsluferlar halda áfram að fara á hærra stig verða nákvæmniskröfur fyrir búnað sífellt strangari. Háþróuð keramikefni, með víddarstöðugleika og viðnám gegn plasmatæringu, munu gegna enn mikilvægara hlutverki í framtíðar hálfleiðaraiðnaði.